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报警及安全控制
"报警及安全控制"标讯
招标
南方科技大学SUSTech-JC-2023-02178终止公告
金额
49.5万元
项目地址
广东省
发布时间
2024/01/08
招标产品
数据处理
源瓶加热器
气体质量流量计
臭氧发生器系统模块
保护真空泵
ALD泵前级过滤器
操作
基本维护
配备薄膜真空规
真空泵抽速
腔体内衬板
一体式工控机
系统监视器
分析数据
多组毫秒级ALD阀门
ALD阀组
氩气/氮气
报警及安全控制
小型原子层沉积镀膜设备
招标公司
南方科技大学
招标
南方科技大学SUSTech-JC-2023-02178延期公告
项目地址
广东省
发布时间
2024/01/02
招标产品
数据处理
源瓶加热器
气体质量流量计
臭氧发生器系统模块
保护真空泵
ALD泵前级过滤器
操作
基本维护
配备薄膜真空规
真空泵抽速
腔体内衬板
一体式工控机
系统监视器
分析数据
多组毫秒级ALD阀门
ALD阀组
氩气/氮气
报警及安全控制
小型原子层沉积镀膜设备
招标公司
南方科技大学
招标
南方科技大学SUSTech-JC-2023-02178竞采采购公告
金额
49.5万元
项目地址
广东省
发布时间
2023/12/25
招标产品
torr电容薄膜
镀膜设备
氮气
清扫气线
进样室
抽屉式样品装载样品
ALD阀门
泵后端油雾过滤器
臭氧发生器
报警及安全控制
多工艺菜单存储功能
前驱体源
源瓶加热器
保护真空泵
真空规
ALD泵前级过滤器
腔体内衬板
油泵
氩气
气体质量流量计
一体式工控机
招标公司
南方科技大学
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