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配备薄膜真空规
"配备薄膜真空规"标讯
中标
材料系小型原子层沉积镀膜设备采购成交公告
金额
45万元
项目地址
广东省
发布时间
2024/01/18
招标产品
配备油泵
真空泵抽速
氮气
基本维护
泵后端油雾过滤器
臭氧发生器
配备1个精确的载气流量控制
多工艺菜单存储功能
操作
小型原子层沉积镀膜设备
数据处理
源瓶加热器
保护真空泵
ALD泵前级过滤器
配备薄膜真空规
腔体内衬板
系统监视器
多组毫秒级ALD阀门
氩气
气体质量流量计
安全控制
一体式工控机
电气和气动控制异常报警系统
ALD阀组
招标公司
南方科技大学
中标公司
厦门韫茂科技有限公司
招标
南方科技大学SUSTech-JC-2023-02178终止公告
金额
49.5万元
项目地址
广东省
发布时间
2024/01/08
招标产品
数据处理
源瓶加热器
气体质量流量计
臭氧发生器系统模块
保护真空泵
ALD泵前级过滤器
操作
基本维护
配备薄膜真空规
真空泵抽速
腔体内衬板
一体式工控机
系统监视器
分析数据
多组毫秒级ALD阀门
ALD阀组
氩气/氮气
报警及安全控制
小型原子层沉积镀膜设备
招标公司
南方科技大学
招标
南方科技大学SUSTech-JC-2024-00020竞采采购公告
金额
49.5万元
项目地址
广东省
发布时间
2024/01/08
招标产品
配备油泵
真空泵抽速
氮气
基本维护
泵后端油雾过滤器
臭氧发生器
配备1个精确的载气流量控制
多工艺菜单存储功能
小型原子层沉积镀膜设备
数据处理
源瓶加热器
保护真空泵
ALD泵前级过滤器
配备薄膜真空规
腔体内衬板
系统监视器
多组毫秒级ALD阀门
氩气
气体质量流量计
安全控制
一体式工控机
电气和气动控制异常报警系统
ALD阀组
招标公司
南方科技大学
招标
南方科技大学SUSTech-JC-2023-02178延期公告
项目地址
广东省
发布时间
2024/01/02
招标产品
数据处理
源瓶加热器
气体质量流量计
臭氧发生器系统模块
保护真空泵
ALD泵前级过滤器
操作
基本维护
配备薄膜真空规
真空泵抽速
腔体内衬板
一体式工控机
系统监视器
分析数据
多组毫秒级ALD阀门
ALD阀组
氩气/氮气
报警及安全控制
小型原子层沉积镀膜设备
招标公司
南方科技大学
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