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配备1个精确的载气流量控制
"配备1个精确的载气流量控制"标讯
中标
材料系小型原子层沉积镀膜设备采购成交公告
金额
45万元
项目地址
广东省
发布时间
2024/01/18
招标产品
配备油泵
真空泵抽速
氮气
基本维护
泵后端油雾过滤器
臭氧发生器
配备1个精确的载气流量控制
多工艺菜单存储功能
操作
小型原子层沉积镀膜设备
数据处理
源瓶加热器
保护真空泵
ALD泵前级过滤器
配备薄膜真空规
腔体内衬板
系统监视器
多组毫秒级ALD阀门
氩气
气体质量流量计
安全控制
一体式工控机
电气和气动控制异常报警系统
ALD阀组
招标公司
南方科技大学
中标公司
厦门韫茂科技有限公司
招标
南方科技大学SUSTech-JC-2024-00020竞采采购公告
金额
49.5万元
项目地址
广东省
发布时间
2024/01/08
招标产品
配备油泵
真空泵抽速
氮气
基本维护
泵后端油雾过滤器
臭氧发生器
配备1个精确的载气流量控制
多工艺菜单存储功能
小型原子层沉积镀膜设备
数据处理
源瓶加热器
保护真空泵
ALD泵前级过滤器
配备薄膜真空规
腔体内衬板
系统监视器
多组毫秒级ALD阀门
氩气
气体质量流量计
安全控制
一体式工控机
电气和气动控制异常报警系统
ALD阀组
招标公司
南方科技大学
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