原子层气相沉积系统(GY202309248)自购结果公示
发布时间：2023-12-08
该项目经自行采购程序，允许自购：

供应商：	厦门韫茂科技有限公司
中标金额：	470000

公示开始日期	2023-12-08	公示截止日期	2023-12-09 15:31:47
采购单位	晶体材料研究所	付款方式	预付10%，其余货款货到验收合格后一年内付清
签约时间要求		到货时间要求
收货地址	山东大学中心校区功能材料楼524室

采购清单1

采购物品	采购数量	计量单位
原子层气相沉积系统	1	台

品牌	厦门韫茂	规格型号	TEM-150
技术参数	1设备整机尺寸 (L×W×H)：不大于650×550×550mm； 2工艺温度：正常室温到250℃之间可调；3成膜不均匀性：<1%（氧化铝）；4前驱体源：配备不少于 4 个单管式 50ml 前驱体源，一条清扫气线；5源瓶配备不少于6 个单管式 50ml 前驱体源，含 6 个手阀；6源瓶加热器配备 不少于1 个 180℃单管加热器，精度：180±1 oC；7进样室采用抽屉式装载样品，可装6寸晶圆片大小 ；8腔体需为真空腔体，250℃高温腔体，温度控制精度 250 ±1 oC；9包括多组毫秒级 ALD 阀门，响应时间≤5ms，ALD 阀组采用紧凑式面板安装，氧化源管路采用双阀门设计； 10阀组采用自动化加热，最高加热温度 ≥180oC；11气体质量流量计： 1 个精确的载气流量控制，氩/氮气最大量程 200sccm；12真空规：薄膜真空规，实时显示工艺压力，标准 10torr 电容薄膜；13真空泵抽速： 18m3/H油泵，含泵前段返油过滤器，泵后端油雾过滤器，反应腔抽真空时间≤10S； 14设备极限真空度≤50mtorr； 15需配备腔体衬板，提高腔体使用寿命，便于维护清洗，减少 particle 脱落； 16配备专业的 ALD 泵前级过滤器，保护真空泵； 17需配备一体式工控机≥12.1 寸，带触摸功能；18软件基本功能：行业标准多个 GUI 界面，用于自动和手动操作，系统监视器，报警和配方编辑，工艺菜单编辑功能，简易工步预设格式，多工艺菜单存储功能； 19报警及安全控制 ：配备温度，压力，气体流量，源串扰，卸载，电气和气动控制异常报警系统 ； 20可集成最高浓度 10%臭氧发生器模块，替代水工艺；21可集成到现有手套箱内使用，水氧浓度<1PPM。 22后续免费升级至6英寸沉积托盘，350度加热托盘
售后服务	服务网点:外地;质保期限:1年;响应期限:报修后48小时;

资产与实验室管理部
2023-12-08