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含泵前段返油过滤器
"含泵前段返油过滤器"标讯
招标
南方科技大学SUSTech-JC-2023-02166终止公告
金额
49.5万元
项目地址
广东省
发布时间
2023/12/22
招标产品
镀膜设备
前驱体源
一条清扫气线
源瓶加热器
进样室采用抽屉式样品装载样品
多组毫秒级ALD阀门
ALD阀组
气体质量流量计
氩/氮气
薄膜真空规
保护真空泵
含泵前段返油过滤器
泵后端油雾过滤器
腔体衬板
ALD泵前级过滤器
一体式工控机
招标公司
南方科技大学
招标
南方科技大学SUSTech-JC-2023-02166竞采采购公告
金额
49.5万元
项目地址
广东省
发布时间
2023/12/21
招标产品
进样室采用抽屉式样品装载样品
源瓶加热器
气体质量流量计
腔体衬板
保护真空泵
ALD泵前级过滤器
氩/氮气
一体式工控机
泵后端油雾过滤器
一条清扫气线
镀膜设备
多组毫秒级ALD阀门
ALD阀组
薄膜真空规
含泵前段返油过滤器
前驱体源
招标公司
南方科技大学
中标
原子层气相沉积系统(GY202309248)自购结果公示
金额
47万元
发布时间
2023/12/08
招标产品
含泵前段返油过滤器
源瓶加热器
气体质量流量计
腔体衬板
ALD泵前级过滤器
torr电容薄膜
一体式工控机
真空泵
进样室采用抽屉式装载样品
一条清扫气线
ALD阀组
薄膜真空规
托盘
成膜
前驱体源
原子层气相沉积系统
中标公司
厦门韫茂科技有限公司
中标
原子层气相沉积系统(GY202305996)自购结果公示
金额
47万元
发布时间
2023/10/24
招标产品
原子层气相沉积系统
成膜
前驱体源
源瓶加热器
进样室采用抽屉式装载样品
ALD阀组
气体质量流量计
薄膜真空规
torr电容薄膜
真空泵
含泵前段返油过滤器
腔体衬板
ALD泵前级过滤器
一体式工控机
托盘
中标公司
厦门韫茂科技有限公司
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