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高精度沉积自动控制系统
"高精度沉积自动控制系统"标讯
招标
SG2023006634001ALD原子层沉积系统-电子科技大学-竞价公告(CB106142023000097)
金额
47万元
项目地址
四川省
发布时间
2023/11/09
招标产品
原子层沉积系统
具有外热式反应腔体
样品台
前驱体源系统
1路常温源
臭氧源
具有两路载气系统
前驱体源管路
高性能真空系统
高精度沉积自动控制系统
具有3个金属源瓶
水源源瓶
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