电子科技大学 - 竞价公告 (CB106142023000097)
发布时间：2023-11-09 11:44:55 截止时间：2023-11-12 11:54:48
基本信息：
申购主题：SG2023006634001ALD原子层沉积系统
报价要求：国产含税
发票类型：增值税普通发票
付款方式：货到验收合格后付款
送货时间：合同签订后10天内送达
安装要求：免费上门安装（含材料费）
预算：470,000.00 人民币

收货地址：四川省/成都市/郫都区/****
备注说明：
采购明细：

序号	采购内容	数量/单位	预算单价	品牌	型号	规格参数	质保及售后服务	附件

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SG2023006634001ALD原子层沉积系统

1

470000

科民电子

TALD-200

1、具有外热式反应腔体，样品台配有可拆卸片托，样品尺寸最大8英寸，兼容厚度0.1-2.2mm的玻璃、硅基、刚性、柔性基板；2、反应温度最高150℃，温度控制精度±1%℃；3、具有3路标准加热液态前驱体源系统，1路常温源，1路臭氧源；4、具有两路载气系统，前驱体源管路具有在线清洗功能；5、具有高性能真空系统，整机极限真空空＜5×10-2Torr，真空漏率＜5×10-7 Pa·L/S；6、具有高精度沉积自动控制系统；7、具有3个金属源瓶、1个水源源瓶。

1. 乙方应对甲方提供完善及时的售后服务和技术支持。受理甲方要求，在2小时内做出响应，如须现场解决问题，48小时内到达现场。 2. 在仪器到货后，乙方工程师将按用户的时间安排进行仪器安装调试，并对使用人员进行现场技术培训，免收技术培训费。 3. 保修期为自验收合格之日起一年，除耗材和由于甲方原因导致设备损耗以外都保修。一年内提供至少1次校准及标准保养服务。 4. 负责向甲方提供最新的仪器应用和最新技术资料。