中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台电子束蒸发仪、磁控溅射仪采购项目中标公告

中标

金额

597.35万元

项目地址

湖南省

发布时间

2021/01/21

公告摘要

项目编号hz20200201-0219

预算金额249.85万元

招标公司中南大学

招标联系人张老师

招标代理机构湖南省招标有限责任公司

代理联系人张女士0731-84511088

中标公司科特莱思科（上海）商贸有限公司179.5万元

中标联系人-

中标公司昊臣科学仪器（上海）有限公司168万元

中标联系人-

中标公司湖南华图智能科技有限公司249.85万元

中标联系人-

公告正文

一、项目编号：HZ20200201-0219（招标文件编号：0623-2081N1106080）

二、项目名称：中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台电子束蒸发仪、磁控溅射仪采购项目

三、中标（成交）信息

供应商名称：科特莱思科（上海）商贸有限公司

供应商地址：中国（上海）自由贸易试验区张衡路1000弄31-32号

中标（成交）金额：179.5000000（万元）

供应商名称：湖南华图智能科技有限公司

供应商地址：湖南省长沙市岳麓区望月湖街道银盆南路066号601房

中标（成交）金额：249.8500000（万元）

四、主要标的信息

序号	供应商名称	货物名称	货物品牌	货物型号	货物数量	货物单价(元)
1	科特莱思科（上海）商贸有限公司	详见公告	详见公告	详见公告	详见公告	详见公告

序号	供应商名称	货物名称	货物品牌	货物型号	货物数量	货物单价(元)
2	湖南华图智能科技有限公司	详见公告	详见公告	详见公告	详见公告	详见公告

五、评审专家（单一来源采购人员）名单：

何煌（主任评委）、刁一峰、朱丽琴、刘兴武、袁小明（业主评委）

六、代理服务收费标准及金额：

本项目代理费收费标准：按国家计委计价格【2002】1980号文及发改办价格[2003]857号规定标准的77%收取，按中标金额计算。

本项目代理费总金额：4.2527000 万元（人民币）

七、公告期限

自本公告发布之日起1个工作日。

八、其它补充事宜

1、供应商投标情况：

第一包：中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台电子束蒸发仪采购项目

供应商信息名称	资格性审查结果	符合性审查结果	投标报价（元）	综合得分	推荐排名	是否成交候选人
科特莱思科（上海）商贸有限公司	审核通过	审核通过	1795000	77.56	1	是
昊臣机电（上海）有限公司	审核通过	审核通过	1680000	76.6	2	是
广州景帆国际进出口有限公司	审核通过	审核通过	1797000	68.22	3	是
广州市晞灵国际贸易有限公司	审核通过	审核通过	1798800	67.19	4	否

第二包：中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台磁控溅射仪采购项目

供应商信息名称	资格性审查结果	符合性审查结果	投标报价（元）	综合得分	推荐排名	是否成交候选人
湖南华图智能科技有限公司	审核通过	审核通过	2498500	98.22	1	是
长沙硕德科技有限公司	审核通过	审核通过	2428800	78.58	2	是
昊臣机电（上海）有限公司	审核通过	审核通过	2430000	77.57	3	是
深圳摩世达科技有限公司	审核通过	审核通过	2457000	76.19	4	否
科特莱思科（上海）商贸有限公司	审核通过	审核通过	2400000	71	5	否

2、主要标的信息

第一包：中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台电子束蒸发仪采购项目
分项项目名称（标的名称/条目号/ 品目名称）		规格型号（或项目特征描述）	品牌	产地	数量/单位	金额（元）	备注
1	镀膜工艺腔	304不锈钢方形腔室	Kurt J.Lesker	美国	一台	85000
2	真空泵系统	CTI低温泵+爱德华干泵	EDWARDS	美国/英国	1套	370000
3	真空测量系统	KJLC 392系列全量程真空计	Kurt J.Lesker	美国	1套	135000
4	系统框架	开放式框架	Kurt J.Lesker	美国	1套	153500
5	电子束蒸发系统	KL-8型电子枪、 6x20CC坩埚、	Kurt J.Lesker	德国	1套	450000
6	膜厚控制系统	软件集成膜厚控制	Kurt J.Lesker	美国	1套	185000
7	控制系统及工作	eKLipse TM软件	Kurt J.Lesker	美国	1套	375000
8	配件（晶振片）	KJLCRYSTAL6-G10	Kurt J.Lesker	美国	5盒	2500
9	配件（石墨坩	EVCFABEB-29	Kurt J.Lesker	美国	9个	9000
10	冷水机	H5-KJ,制冷量5kw	同洲维普	中国	1套	30000
第二包：中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台磁控溅射仪采购项目
分项项目名称（标的名称/条目号/ 品目名称）		规格型号（或项目特征描述）	品牌	产地	数量/单位	金额（元）	备注
1	主反应腔室	AJA 304 S/S不锈钢超高真空反应腔体，腔室尺寸15.6"高 x 14"外径	AJA	美国	1 套	361200
2	样品台	最大容纳直径4英寸的基片；最高加热温度850℃，温控精度±1℃	AJA	美国	1 套	113000
3	磁控溅射靶枪	AJA 2 英寸超高真空磁控溅射靶枪；靶枪采用稀土磁铁，可以承受 200℃ 高温和 10-11Torr 真空环境	AJA	美国	6 套	654000
4	射频电源	AJA 300W射频电源，自动匹配网络，含电缆	AJA	美国	2 套	210000
5	脉冲直流电源	TruPlasma DC 4000系列脉冲直流电源2KW	TRUMPF	德国	1 套	133500
6	真空泵组	主腔室一套：Pfeiffer 700 l/s宽量程涡轮分子泵以及8.8 cfm (NeoDry15)干式机械泵预真空室一套：80l/s宽量程复合涡轮分子泵以及4cfm机械前级泵	Pfeiffer	德国	2 套	330000
7	电源转换器	SBRF-4-A（射频）/SBDC-4-A（脉冲直流）	AJA	美国	2 套	50000
8	气路	MKS质量流量控制计（Ar-100sccm, O2、N2-20sccm），带气动隔离阀和过滤器	MKS	美国	3 路	153000
9	预真空室	配有磁性传送臂、带定制样品托盘衬托器、全量程真空计、手动插板阀	AJA	美国	1 套	240000
10	膜厚监控系统	SQM-160	Inficon	瑞士	1 套	50000
11	工作站及控制系统	Phase II-J	AJA	美国	1 套	105000
12	水冷机	CW6000AN	特域	中国	1 个	18000
13	耗材（常用靶材）	常用靶材总共6个：Al, Ni, Ge, ITO, NiO, TiO2	中诺新材	中国	6 个	22800
14	耗材（加热灯丝）	定制	定制	中国	10 个	58000