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不锈钢方形腔室
"不锈钢方形腔室"标讯
中标
中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台电子束蒸发仪、磁控溅射仪采购项目中标公告
金额
597.35万元
项目地址
湖南省
发布时间
2021/01/21
招标产品
电子束蒸发仪
磁控溅射仪
镀膜工艺腔
不锈钢方形腔室
真空泵系统
低温泵
爱德华干泵
真空测量系统
全量程真空计
系统框架
开放式框架
电子束蒸发系统
电子枪
6x20CC坩埚
石墨坩
冷水机
主反应腔室
磁控溅射靶枪
射频电源
脉冲直流电源
干式机械泵
预真空室
机械前级泵
电源转换器
气路
质量流量控制计
手动插板阀
膜厚监控系统
工作站及控制系统
水冷机
耗材
加热灯丝
招标公司
中南大学
中标公司
昊臣科学仪器（上海）有限公司
共3家
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