半导体微纳加工与表征实验室及集成电路设计与测试实验室建设项目结果公告（项目编号：1210-2241YDZB5585）

中标

金额

1641.4万元

项目地址

广东省

发布时间

2022/12/13

公告摘要

项目编号1210-2241ydzb5585

预算金额9.2万元

招标公司广东工业大学

招标联系人-

招标代理机构广东有德招标采购有限公司

代理联系人郑小姐020-83629590

中标公司禾纵谷（广州）贸易有限公司

中标联系人-

中标公司广东省中科进出口有限公司1333万元

中标联系人-

中标公司深圳市矢量科学仪器有限公司308.4万元

中标联系人-

公告正文

发布时间：2022-12-13 2

一、项目编号：1210-2241YDZB5585

二、项目名称：半导体微纳加工与表征实验室及集成电路设计与测试实验室建设项目

三、采购结果

合同包1（深硅刻蚀系统等设备）:

供应商名称	供应商地址	中标（成交）金额
广东省中科进出口有限公司	广东省广州市越秀区先烈中路100号大院9号102房自编A一楼	14,312,000.00元

合同包2（高真空电子束蒸发系统等设备）:

供应商名称	供应商地址	中标（成交）金额
广东省中科进出口有限公司	广东省广州市越秀区先烈中路100号大院9号102房自编A一楼	7,054,000.00元

合同包3（集成电路测试系统等设备）:

供应商名称	供应商地址	中标（成交）金额
广东省中科进出口有限公司	广东省广州市越秀区先烈中路100号大院9号102房自编A一楼	13,330,000.00元

合同包4（单面对准光刻系统等设备）:

供应商名称	供应商地址	中标（成交）金额
深圳市矢量科学仪器有限公司	深圳市光明区光明街道碧眼社区华强创意公园5栋A座0801	3,084,000.00元

四、主要标的信息

合同包1（深硅刻蚀系统等设备）:

货物类（广东省中科进出口有限公司）

品目号	品目名称	采购标的	品牌	规格型号	数量（单位）	单价（元）	总价（元）
1-1	其他专用仪器仪表	等离子体增强化学气相沉积系统	详见投标文件	详见投标文件	1.00（套）	1,550,000.00	1,550,000.00
1-2	其他专用仪器仪表	等离子体增强化学气相沉积系统	详见投标文件	详见投标文件	1.00（套）	1,980,000.00	1,980,000.00
1-3	其他专用仪器仪表	反应离子刻蚀系统	详见投标文件	详见投标文件	1.00（套）	882,000.00	882,000.00
1-4	其他专用仪器仪表	低压化学气相沉积系统	详见投标文件	详见投标文件	1.00（套）	3,000,000.00	3,000,000.00
1-5	其他专用仪器仪表	感应耦合等离子刻蚀系统	详见投标文件	详见投标文件	1.00（套）	2,950,000.00	2,950,000.00
1-6	其他专用仪器仪表	深硅刻蚀系统	详见投标文件	详见投标文件	1.00（套）	3,950,000.00	3,950,000.00

合同包2（高真空电子束蒸发系统等设备）:

货物类（广东省中科进出口有限公司）

品目号	品目名称	采购标的	品牌	规格型号	数量（单位）	单价（元）	总价（元）
2-1	其他专用仪器仪表	微纳光电器件制备系统	武汉普迪	PD-400S	1.00（套）	1,430,000.00	1,430,000.00
2-2	其他专用仪器仪表	纳米压印系统	天仁微纳	Uniprinter	1.00（套）	1,024,000.00	1,024,000.00
2-3	其他专用仪器仪表	高真空电子束蒸发系统	方昇光电	FS450-S6II	2.00（套）	1,280,000.00	2,560,000.00
2-4	其他专用仪器仪表	高精度拉伸测试仪	纳昇电子	FlexTest	1.00（台）	120,000.00	120,000.00
2-5	其他专用仪器仪表	光学显微镜	舜宇	RX50M	2.00（台）	110,000.00	220,000.00
2-6	其他专用仪器仪表	磁控溅射镀膜系统	创世威纳	DISC-SP-3200T	2.00（套）	780,000.00	1,560,000.00
2-7	其他专用仪器仪表	等离子去胶系统	创世威纳	MPR-6	1.00（套）	140,000.00	140,000.00

合同包3（集成电路测试系统等设备）:

货物类（广东省中科进出口有限公司）

品目号	品目名称	采购标的	品牌	规格型号	数量（单位）	单价（元）	总价（元）
3-1	其他专用仪器仪表	集成电路测试系统	北京华峰	STS 8200	2.00（套）	3,296,500.00	6,593,000.00
3-2	其他专用仪器仪表	功率电源	固纬电子	PSW30-108	30.00（套）	21,000.00	630,000.00
3-3	其他专用仪器仪表	逻辑分析仪	致远电子	LAB6052	2.00（套）	55,000.00	110,000.00
3-4	其他专用仪器仪表	多路数据采集仪	金科	JK360	2.00（套）	27,500.00	55,000.00
3-5	其他专用仪器仪表	实时频谱分析仪	普源精电	RSA3045	2.00（套）	46,000.00	92,000.00
3-6	其他专用仪器仪表	第三代半导体器件功率循环测试系统	高坤电子	GK-PC-3000A	3.00（套）	880,000.00	2,640,000.00
3-7	其他专用仪器仪表	SiC器件动态试验系统	元煦达	DTS-SiC-1000	1.00（套）	1,150,000.00	1,150,000.00
3-8	其他专用仪器仪表	GaN器件寿命试验系统	元煦达	DTS-GaN-1002	2.00（套）	1,030,000.00	2,060,000.00

合同包4（单面对准光刻系统等设备）:

货物类（深圳市矢量科学仪器有限公司）

品目号	品目名称	采购标的	品牌	规格型号	数量（单位）	单价（元）	总价（元）
4-1	其他专用仪器仪表	单面对准光刻系统	四川南光	H94-25C	3.00（套）	548,000.00	1,644,000.00
4-2	其他专用仪器仪表	湿法刻蚀与清洗系统	青岛晶诚	JC-MCU02OF02	1.00（套）	395,000.00	395,000.00
4-3	其他专用仪器仪表	单片清洗系统	青岛晶诚	JC-R05Q05	1.00（套）	1,045,000.00	1,045,000.00

五、评审专家（单一来源采购人员）名单：

雷登云（采购人代表）、李海萍、钟伟（采购人代表）、邝俊侠、黄佐华、叶锦新、张以科、杨素云

六、代理服务收费标准及金额：

代理服务收费标准		采购代理服务费以本项目中标金额作为计算基数，参照中华人民共和国国家发展计划委员会颁发的计价格〔2002〕1980号、发改办价格〔2003〕857号及发改价格〔2011〕534号文规定的下浮20%收取。
合同包号	合同包名称	代理服务费金额（万元）	收取对象
1	深硅刻蚀系统等设备	9.6448	中标（成交）供应商
2	高真空电子束蒸发系统等设备	6.0346	中标（成交）供应商
3	集成电路测试系统等设备	9.2520	中标（成交）供应商
4	单面对准光刻系统等设备	3.0339	中标（成交）供应商

七、公告期限

自本公告发布之日起1个工作日。

八、其他补充事宜

合同包1（深硅刻蚀系统等设备）:

供应商	资格性审查	符合性审查	技术得分	商务得分	价格得分	综合得分	得分排名	推荐排名
广东省中科进出口有限公司	通过	通过	41.00	11.86	30.00	82.86	1	1
禾纵谷（广州）贸易有限公司	通过	通过	31.86	5.00	29.99	66.85	2	2
广州市广大进出口有限公司	通过	通过	27.14	5.00	29.99	62.13	3

合同包2（高真空电子束蒸发系统等设备）:

供应商	资格性审查	符合性审查	技术得分	商务得分	价格得分	综合得分	得分排名	推荐排名
广东省中科进出口有限公司	通过	通过	44.14	11.86	30.00	86.00	1	1
禾纵谷（广州）贸易有限公司	通过	通过	41.00	5.00	29.99	75.99	2	2
广州市广大进出口有限公司	通过	通过	33.71	5.00	29.97	68.68	3

合同包3（集成电路测试系统等设备）:

供应商	资格性审查	符合性审查	技术得分	商务得分	价格得分	综合得分	得分排名	推荐排名
广东省中科进出口有限公司	通过	通过	43.57	11.86	30.00	85.43	1	1
禾纵谷（广州）贸易有限公司	通过	通过	26.71	5.00	29.99	61.70	2	2
广州市广大进出口有限公司	通过	通过	19.43	5.00	29.98	54.41	3

合同包4（单面对准光刻系统等设备）:

供应商	资格性审查	符合性审查	技术得分	商务得分	价格得分	综合得分	得分排名	推荐排名
深圳市矢量科学仪器有限公司	通过	通过	42.00	12.00	30.00	84.00	1	1
凯瑞智造（深圳）科技有限公司	通过	通过	32.57	5.00	26.92	64.49	2	2
广东省北尚进出口有限公司	通过	通过	31.71	5.00	26.90	63.61	3