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单面对准光刻系统
"单面对准光刻系统"标讯
中标
半导体微纳加工与表征实验室及集成电路设计与测试实验室建设项目结果公告 （项目编号：1210-2241YDZB5585）
金额
1641.4万元
项目地址
广东省
发布时间
2022/12/13
招标产品
专用仪器仪表
感应耦合等离子刻蚀系统
高真空电子束蒸发系统
等离子去胶系统
实时频谱分析仪
实验室建设
深硅刻蚀系统
多路数据采集仪
SiC器件动态试验系统
光学显微镜
微纳光电器件制备系统
功率电源
等离子体增强化学气相沉积系统
逻辑分析仪
单片清洗系统
低压化学气相沉积系统
磁控溅射镀膜系统
反应离子刻蚀系统
集成电路测试系统
高精度拉伸测试仪
单面对准光刻系统
GaN器件寿命试验系统
湿法刻蚀与清洗系统
纳米压印系统
第三代半导体器件功率循环测试系统
招标公司
广东工业大学
中标公司
深圳市矢量科学仪器有限公司
共3家
中标
半导体微纳加工与表征实验室及集成电路设计与测试实验室建设项目结果公告
项目地址
广东省
发布时间
2022/12/13
招标产品
专用仪器仪表
感应耦合等离子刻蚀系统
高真空电子束蒸发系统
等离子去胶系统
实时频谱分析仪
实验室建设
深硅刻蚀系统
多路数据采集仪
SiC器件动态试验系统
光学显微镜
微纳光电器件制备系统
功率电源
等离子体增强化学气相沉积系统
逻辑分析仪
单片清洗系统
低压化学气相沉积系统
磁控溅射镀膜系统
反应离子刻蚀系统
集成电路测试系统
高精度拉伸测试仪
单面对准光刻系统
GaN器件寿命试验系统
湿法刻蚀与清洗系统
纳米压印系统
第三代半导体器件功率循环测试系统
招标公司
广东工业大学
中标公司
禾纵谷（广州）贸易有限公司
共3家
中标
半导体微纳加工与表征实验室及集成电路设计与测试实验室建设项目结果公告
金额
1641.4万元
项目地址
广东省
发布时间
2022/12/13
招标产品
感应耦合等离子刻蚀系统
高真空电子束蒸发系统
等离子去胶系统
实时频谱分析仪
实验室建设
深硅刻蚀系统
功率循环测试系统
多路数据采集仪
SiC器件动态试验系统
光学显微镜
微纳光电器件制备系统
功率电源
等离子体增强化学气相沉积系统
逻辑分析仪
其他专用仪器仪表
单片清洗系统
低压化学气相沉积系统
磁控溅射镀膜系统
反应离子刻蚀系统
集成电路测试系统
高精度拉伸测试仪
单面对准光刻系统
GaN器件寿命试验系统
湿法刻蚀与清洗系统
纳米压印系统
招标公司
广东工业大学
中标公司
深圳市矢量科学仪器有限公司
共3家
招标
半导体微纳加工与表征实验室及集成电路设计与测试实验室建设项目招标公告
金额
3782.2万元
项目地址
广东省
发布时间
2022/11/19
招标产品
感应耦合等离子刻蚀系统
高真空电子束蒸发系统
等离子去胶系统
实时频谱分析仪
实验室建设
深硅刻蚀系统
多路数据采集仪
检测
SiC器件动态试验系统
光学显微镜
微纳光电器件制备系统
功率电源
等离子体增强化学气相沉积系统
逻辑分析仪
单片清洗系统
低压化学气相沉积系统
磁控溅射镀膜系统
反应离子刻蚀系统
集成电路测试系统
高精度拉伸测试仪
单面对准光刻系统
GaN器件寿命试验系统
湿法刻蚀与清洗系统
纳米压印系统
第三代半导体器件功率循环测试系统
招标公司
广东工业大学
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