清华大学高分辨率飞秒紫外激光微加工系统公开招标公告

招标

微加工系统光学系统飞秒激光器紫外振镜控制模组红外振镜控制模组近红外物镜聚焦系统紫外物镜聚焦系统光路传输系统光学模组视觉对位系统自动对焦机构五轴运动系统精密气浮式减震系统真空吸附样品真空及气体氛围控制模块工控机软件控制系统

金额

项目地址

北京市

发布时间

2023/11/21

公告摘要

项目编号-

预算金额-

招标公司清华大学

招标联系人-

标书截止时间-

投标截止时间-

公告正文

项目概况
清华大学高分辨率飞秒紫外激光微加工系统招标项目的潜在投标人应在中钢招标有限责任公司官网（http://tendering.sinosteel.com）获取招标文件，并于2023年12月12日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。

一、项目基本情况

项目编号：清设招第20230243号（2341STC73465）

项目名称：清华大学高分辨率飞秒紫外激光微加工系统

预算金额：380.000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：380.000000 万元（人民币）

采购需求：

包号

标的名称

数量

简要技术需求或服务要求

高分辨率飞秒紫外激光微加工系统

1套

1 激光及光学系统

1.1 飞秒激光器 1件

★（1）中心波长：1030nm±10nm

★（2）功率：≥20W

★（3）脉冲能量：≥200μJ

★（4）频率：1Hz-1000kHz等...

1.2 紫外振镜控制模组 1套

1.3 红外振镜控制模组 1套

1.4 近红外物镜聚焦系统 1套

1.5 紫外物镜聚焦系统 1套

1.6 光路传输系统 1套

1.7 其他光学模组 1套

1.8 视觉对位系统 1件

1.9 自动对焦机构 1件

2 机械及运动系统

2.1 五轴运动系统 1件

★行程：X轴≥250mm；Y轴≥300mm；Z轴≥150mm；A轴≥-100°～100°；B轴360°。

★分辨率：X轴≤10nm；Y轴≤10nm；Z轴≤6nm；A轴≤0.1″；B轴≤0.1″。

★定位精度：X轴≤±0.5μm；Y轴≤±0.5μm；Z轴≤±0.3μm；A轴≤3″；B轴≤6″。等...

2.2 精密气浮式减震系统 1套

2.3 真空吸附样品台 2件

2.4 主、被动安全防护系统 1件

3 配套附件

3.1 真空及气体氛围控制模块 1件

3.2 工控机 1套

3.3 电气和软件控制系统 1套

设备用途介绍：高分辨率飞秒紫外激光微加工系统广泛应用于电子、光电、机械、生物和医疗等领域，可以实现对各种超薄、超硬、脆性、柔性及各种复合材料提供激光精细微纳加工。结合招标人在微纳摩擦学、超疏水微纳结构制作、复合微纳芯片切割、电路刻蚀、janus材料制备、碳化硅、氮化镓等第三代半导体材料晶圆微纳加工等众多微纳加工研究领域的不断探索，将有更多的科研成果产出和创新应用。

交货地点：北京，采购人指定地点。

注：投标人必须针对本项目所有内容进行投标，不允许拆分投标。

合同履行期限：合同签订后180日内完成设备交货、安装及调试工作并验收合格，至质保期结束。

本项目( 不接受 )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

2.1 中小企业政策：本项目不专门面向中小企业采购。

2.2 其它落实政府采购政策的资格要求：通过“信用中国”网站（www.creditchina.gov.cn）和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）查询信用记录（截止时点为投标截止时间），被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动。

3.本项目的特定资格要求：3.1本项目是否接受分支机构参与投标：□是 ■否； 3.2本项目是否属于政府购买服务：■否 □是，公益一类事业单位、使用事业编制且由财政拨款保障的群团组织，不得作为承接主体； 3.3其他特定资格要求：1）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参加同一包号的政府采购活动；2）为某一包号提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加该包的其他采购活动。

三、获取招标文件

时间：2023年11月21日至 2023年11月28日，每天上午9:00至12:00，下午12:00至17:00。（北京时间，法定节假日除外）

地点：中钢招标有限责任公司官网（http://tendering.sinosteel.com）

方式：请投标人在中钢招标有限责任公司官网（http://tendering.sinosteel.com）“投标人登录”栏目办理手续。未注册的投标人请先免费注册，电子平台将协助对注册信息进行一致性复核。投标人注册时填写的“申报人姓名、申报人手机号码”，应是本项目的联系人，在需要通知有关项目信息时，招标公司将依据投标人注册时填写的上述联系方式与投标人取得联系。投标人参与不同项目的经办人可在平台注册多个不同账户。（2）文件获取：请投标人凭注册的手机号码、密码登录，获取并下载电子文件（供应商如计划参与多个采购包，应按采购包分别获取并下载电子文件）。投标人应充分考虑平台注册、资料上传、平台复核、网上支付等流程所需的时间，务必在获取文件截止时间前完成所有手续，否则将无法保证获取招标文件。（3）纸质文件可与本项目联系人确定领取方式。（4）投标人注册、文件获取等系统操作问题可咨询010-86397110。

售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和

四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

提交投标文件截止时间：2023年12月12日 09点30分（北京时间）

开标时间：2023年12月12日 09点30分（北京时间）

地点：北京市海淀区海淀大街8号中钢国际广场27层会议室

五、公告期限

自本公告发布之日起5个工作日。

六、其他补充事宜

1.本项目需要落实的政府采购政策：节约能源、保护环境、促进中小企业及监狱企业发展、促进残疾人就业、支持乡村产业振兴，政府采购政策具体落实情况详见招标文件。

七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名称：清华大学　　　　　