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精密气浮式减震系统
"精密气浮式减震系统"标讯
招标
清华大学高分辨率飞秒紫外激光微加工系统招标公告
金额
380万元
项目地址
北京市
发布时间
2023/11/21
招标产品
光学模组
电路刻蚀
碳化硅
微加工系统
五轴运动系统
复合微纳芯片切割
激光精细微纳加工
光学系统
微纳摩擦学
飞秒激光器
光路传输系统
紫外振镜控制模组
精密气浮式减震系统
电气和软件控制系统
近红外物镜聚焦系统
紫外物镜聚焦系统
真空吸附样品
真空及气体氛围控制模块
超疏水微纳结构制作
工控机
红外振镜控制模组
视觉对位系统
janus材料制备
自动对焦机构
招标公司
清华大学
招标
清华大学高分辨率飞秒紫外激光微加工系统公开招标公告
项目地址
北京市
发布时间
2023/11/21
招标产品
真空吸附样品
光学模组
视觉对位系统
飞秒激光器
软件控制系统
真空及气体氛围控制模块
光路传输系统
紫外振镜控制模组
精密气浮式减震系统
工控机
自动对焦机构
近红外物镜聚焦系统
紫外物镜聚焦系统
微加工系统
五轴运动系统
红外振镜控制模组
光学系统
招标公司
清华大学
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