清华大学高分辨率飞秒紫外激光微加工系统招标公告
一、项目基本情况
1.项目编号：清设招第 20230243 号（2341STC73465 ）
2.项目名称：清华大学高分辨率飞秒紫外激光微加工系统 3.项目预算金额：380 万元、项目最高限价：380 万元 4.采购需求：

包 号	标的名称	数量	简要技术需求或服务要求
01	高分辨率飞 秒紫外激光 微加工系统	1 套	1 激光及光学系统 1.1 飞秒激光器 1 件★（1）中心波长：1030nm±10nm★（2）功率：≥20W ★（3）脉冲能量：≥200μJ ★（4）频率：1Hz-1000kHz 等... 1.2 紫外振镜控制模组 1 套 1.3 红外振镜控制模组 1 套 1.4 近红外物镜聚焦系统 1 套 1.5 紫外物镜聚焦系统 1 套 1.6 光路传输系统 1 套 1.7 其他光学模组 1 套 1.8 视觉对位系统 1 件 1.9 自动对焦机构 1 件 2 机械及运动系统 2.1 五轴运动系统 1 件 ★行程：X 轴≥250mm；Y 轴≥300mm；Z 轴≥ 150mm ； A 轴 ≥ -100° ～ 100° ； B 轴 360°。 ★分辨率：X 轴≤10nm；Y 轴≤10nm；Z 轴≤6nm；A 轴≤0.1″；B 轴≤0.1″。 ★ 定 位 精 度 ： X 轴 ≤ ±0.5μm ； Y 轴≤±0.5μm；Z 轴≤±0.3μm；A 轴≤3″；B 轴≤6″。等... 2.2 精密气浮式减震系统 1 套 2.3 真空吸附样品台 2 件 2.4 主、被动安全防护系统 1 件 3 配套附件 3.1 真空及气体氛围控制模块 1 件 3.2 工控机 1 套 3.3 电气和软件控制系统 1 套

设备用途介绍：高分辨率飞秒紫外激光微加工系统广泛应用于电子、光电、机械、生物和医疗等领域，可以实现对各种超薄、超硬、脆性、柔性及各种复合材料提供激 光精细微纳加工。结合招标人在微纳摩擦学、超疏水微纳结构制作、复合微纳芯片切 割、电路刻蚀、janus 材料制备、碳化硅、氮化镓等第三代半导体材料晶圆微纳加工等 众多微纳加工研究领域的不断探索，将有更多的科研成果产出和创新应用。
交货地点：北京，采购人指定地点。
注：投标人必须针对本项目所有内容进行投标，不允许拆分投标。
5.合同履行期限：合同签订后 180 日内完成设备交货、安装及调试工作并验收合 格，至质保期结束。
6.本项目是否接受联合体投标：否。
二、申请人的资格要求（须同时满足）
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；2.落实政府采购政策需满足的资格要求：
2.1 中小企业政策：本项目不专门面向中小企业采购。
2.2 其它落实政府采购政策的资格要求：通过“信用中国”网站
（www.creditchina.gov.cn）和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）查询信用记录（截止 时点为投标截止时间），被列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府 采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动。
3.本项目的特定资格要求：
3.1 本项目是否接受分支机构参与投标：□是 ■否；
3.2 本项目是否属于政府购买服务：■否 □是，公益一类事业单位、使用事业编 制且由财政拨款保障的群团组织，不得作为承接主体；
3.3 其他特定资格要求：
1）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得同时参 加同一包号的政府采购活动；
2）为某一包号提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应 商，不得再参加该包的其他采购活动。
三、获取招标文件
1.时间：2023 年 11 月 21 日至 2023 年 11 月 28 日，每天上午 9:00 至 12:00，下午 12: 00 至 17:00（北京时间，法定节假日除外）。
2.地点：中钢招标有限责任公司官网（http://tendering.sinosteel.com）。
3.方式：
（1）注册登录：请投标人在中钢招标有限责任公司官网（http://
tendering.sinosteel.com）“投标人登录”栏目办理手续。未注册的投标人请先免费注册，电子平台将协助对注册信息进行一致性复核。投标人注册时填写的“申报人姓名、申 报人手机号码”，应是本项目的联系人，在需要通知有关项目信息时，招标公司将依 据投标人注册时填写的上述联系方式与投标人取得联系。投标人参与不同项目的经办 人可在平台注册多个不同账户。（2）文件获取：请投标人凭注册的手机号码、密码登
录，获取并下载电子文件（供应商如计划参与多个采购包，应按采购包分别获取并下 载电子文件）。投标人应充分考虑平台注册、资料上传、平台复核、网上支付等流程 所需的时间，务必在获取文件截止时间前完成所有手续，否则将无法保证获取招标文 件。（3）纸质文件可与本项目联系人确定领取方式。（4）投标人注册、文件获取等 系统操作问题可咨询 010-86397110。
4.售价：500 元/包。
四、提交投标文件截止时间、开标时间和地点
投标截止时间、开标时间：2023 年 12 月 12 日 9 点 30 分（北京时间）。
地点：北京市海淀区海淀大街 8 号中钢国际广场 27 层会议室
五、公告期限
自本公告发布之日起 5 个工作日。
六、其他补充事宜
1.本项目需要落实的政府采购政策：节约能源、保护环境、促进中小企业及监狱企 业发展、促进残疾人就业、支持乡村产业振兴，政府采购政策具体落实情况详见招标 文件。
七、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。
1.采购人信息
名 称：清华大学
地 址：清华大学华业大厦 1 区 5 层实验室处
联系方式：吴老师，010-62783931 转 807
2.采购代理机构信息
名 称：中钢招标有限责任公司
地 址：北京市海淀区海淀大街 8 号中钢国际广场 16 层
联系方式：010-62688251
3.项目联系方式
项目联系人：马娟娟、刘圣钰、聂娅琼、陈俊
电 话：010-62688223（获取文件、发票咨询）、010-62686390（项目问询）、liusy5@sstc20.com（项目问询）
中钢招标有限责任公司
2023 年 12 月 21 日