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janus材料制备
"janus材料制备"标讯
招标
清华大学高分辨率飞秒紫外激光微加工系统招标公告
金额
380万元
项目地址
北京市
发布时间
2023/11/21
招标产品
光学模组
电路刻蚀
碳化硅
微加工系统
五轴运动系统
复合微纳芯片切割
激光精细微纳加工
光学系统
微纳摩擦学
飞秒激光器
光路传输系统
紫外振镜控制模组
精密气浮式减震系统
电气和软件控制系统
近红外物镜聚焦系统
紫外物镜聚焦系统
真空吸附样品
真空及气体氛围控制模块
超疏水微纳结构制作
工控机
红外振镜控制模组
视觉对位系统
janus材料制备
自动对焦机构
招标公司
清华大学
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