一、项目信息
采购人：山西大学
项目名称： 山西大学紫外光刻机采购项目
拟采购的货物或服务的说明：
山西大学拟购置ABM Inc公司生产的紫外光刻机主要用于离子阱量子计算研究。在芯片离子阱量子计算的实验中，需要通过芯片阱的设计来突破常规离子阱的规模限制，从而获得更大规模的离子阱量子位，其光刻有效范围： 6英寸方形；曝光精度：0.6um微米(NUV)；分辨率小于1微米；光照强度不均匀性指标（以365nm波长为参考）≤±3% 辐照中心点6英寸范围内；对准系统为双CCD照相对准系统连续视频缩放范围在100-800倍 ，分视野；对准精度≤±0.5微米；放大倍率连续可调：标配100-800X。目前能满足上述特点的紫外光刻机只有美国ABM Inc公司生产，所以申请单一来源购置该紫外光刻机。
本次拟购买的美国ABM Inc公司生产的紫外光刻机设计易于操作、稳定性极高，具有稳定的可重复曝光功能，可以实现均匀可控的紫外光输出，是完成实验研究和教学科研工作中必不可少的设备之一。
拟采购的货物或服务的预算金额： 999600 元
采用单一来源采购方式的原因及说明：目前满足上述参数的紫外光刻机，只有美国ABM Inc公司生产，北京泰和浩天科技有限公司是美国ABM Inc公司在中国此项目授权的唯一代理商，因此，申请以单一来源方式采购。
二、拟定供应商信息
名称：　北京泰和浩天科技有限公司
地址：　北京市朝阳区阜通东大街12号楼14层（15）1401 　
三、公示期限
2023 年 5 月 22 日至 2023 年 5 月 26 日（公示期限不得少于5个工作日）
四、其他补充事宜：
五、联系方式
1.采购人
联 系 人：　 程 斌 　
联系地址：　山西省太原市坞城路92号　
联系电话：　　 0351-7011255　　　
2.监督部门
联系人： 山西省财政厅政府采购管理处
联系地址: 太原市小店区学府街41号
联系电话： 0351-4123278
六、附件
1、专业人员论证意见
2、紫外光刻机采购项目明细
附件2：
紫外光刻机采购项目明细

序号	货物名称	数量	单位	预算单价（元）	预算总价(元)	品牌规格型号及配置技术参数	备注
1	紫外光刻机	1	套	999600	999600	1.主要技术指标： *1.1 要求350W近紫外光源和双通道固定光强和固定功率电源控制器，紫外波长范围350-450nm 6英寸方形光刻辐照输出光源 *1.2 可达到输出紫外光强照度参数如下： 365 nm – 18-20 mw/cm2 400 nm – 35-40 mw/cm2 *1.3 光刻有效范围： 6英寸方形 *1.4 光照强度不均匀性指标（以365nm波长为参考）: ≤±3% （辐照中心点6英寸范围内） *1.5 光刻最佳分辨率­：≤0.6微米 *1.6 对准系统为双CCD照相对准系统连续视频缩放范围在100-800倍 *1.7 对准精度:≤±0.5微米 *1.8 显微镜系统需具备位置记忆功能(即显微镜可以自动回到上一次设定的位置) *1.9 具备氮气通入功能(可于掩模板和基板之间通入氮气使其分离) 1.10 需具备携行补偿模式的自动Z轴方向水平补偿功能 *1.11 对准工作台调整范围：X轴±12.5mm，Y轴±12.5mm，θ角±5°，Theta精度：±0.0001度 1.12 曝光模式支持接近式、软接触、硬接触、真空接触； 1.13 配置温度及气流感应器并带有安全控制开关； 1.14 配置氮气通路，可用于掩膜板和基板之间分离 2. 光源部分 2.1 光强控制：恒光强和恒功率选择控制，光强和功率可调； 3. 光强均匀性 3.1 ±3%，150mm″晶圆基板； 3.2 ±2%，100mm″晶圆基板； 3.3 ±1%，50mm″晶圆基板； 3.4 紫外光灯源波长范围：350～405nm； 3.5 曝光时间：0.1～999.9s联系可调，最小调节尺度0.1s。 4. 配置 4.1 抗衍射光反射镜及蝇眼棱镜。 5. 对准系统 5.1 配备棱镜对准装置，最小双视场对准间距≦10mm； 5.2 对准工作台调整范围：X轴±12.5mm，Y轴±12.5mm，θ角±5°，Theta精度：±0.0001度； 6. 其他配置 6.1 进口无油真空泵：压力25-27mmHg； 6.2 抗震台；	进口
合计					999600