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蝇眼棱镜
"蝇眼棱镜"标讯
中标
山西大学紫外光刻机采购项目（SDDY-220305）单一来源征求意见公示
项目地址
山西省
发布时间
2023/05/22
招标产品
紫外光刻机
离子阱量子计算研究
芯片离子阱量子计算
350W近紫外光源
固定功率电源控制器
光刻辐照输出光源
双CCD照相对准系统
显微镜系统
氮气通入
掩模板和基板之间通入氮气使其分离
自动Z轴方向水平补偿
对准工作台
温度及气流感应器
氮气通路
光源部分
光强控制
恒光强和恒功率选择控制
光强均匀性
抗衍射光反射镜
蝇眼棱镜
棱镜对准装置
真空泵
抗震台
招标公司
山西大学
中标公司
北京泰和浩天科技有限公司
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