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热板分别兼容8寸和12寸圆片
"热板分别兼容8寸和12寸圆片"标讯
招标
东南大学微纳系统国际创新中心8寸光刻机采购（二次）公开招标公告
项目地址
江苏省
发布时间
2022/11/23
招标产品
真空烘箱
样品存放柜
热板分别兼容8寸和12寸圆片
8英寸热板单元
独立HDMS真空预处理系统
12英寸热板单元
微观形貌观测功能设备
光刻机
8英寸匀胶单元
全局在线式温度检测分析系统
8英寸光刻单元
紫外臭氧清洗机
招标公司
东南大学
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