金额
126.75万元
项目地址
天津市
发布时间
2022/12/26
招标产品
真空抽取等离子体工艺气体臭氧O3技术服务臭氧系统加热系统环境标志产品仪器设备操作不锈钢源瓶微调阀技术配置仪器及主要附件的详细操作导入导出原子层沉积系统存储可单独加热盖板开关读写数据库毁灭器技术培训载气N2气路接口仪器使用软件历史数据设备安装安全防护系统高温阀门加热保温系统技术文件氧气流量流量计报警CDA验收臭氧发生器真空薄膜规机械加工反应物气路加热装置技术原理升温高精度测量工艺气体管路等离子体源可加热源反应物供给系统腔体四周及上下盖板具备加热保温功能H2O管路吹扫N2基于Windows7操作系统数据处理仪器设备基本维护自动开关腔门设计管路直角接头隔热材料真空泵独立的手动操作页面反应腔每路源均配备进口快速专用阀门软硬件降温手动阀远程等离子体系统高温模块前驱体源管路尾气处理前驱体源瓶前驱体供给独立阀门进行流量控制金VCR密封隔热处理安装手册工艺配方热阱系统触摸屏人机界面射频电源显示屏大气压硬件互锁安装调试支持手动开关阀门的操作自动匹配器材料沉积射频产生器
招标公司
中标公司
返回顶部