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电机自动调基片
"电机自动调基片"标讯
中标
紫外光刻机（JJ19001108）成交结果公告
金额
26万元
发布时间
2019/11/27
招标产品
紫外光刻机
氮气
显微镜扫描台
曝光头
紫外LED光源
冷却风扇
光学系统
固定光栏
可变光栏
电子快门
准直镜镜
蝇眼透镜组
场镜
冷光反射镜
对准工件
工位切换
掩模样片
整体运动台
相对运动台
转动台
调平机构
调焦机构
电机自动调基片
抽拉式上下机构
承片台
掩模夹
对准显微镜
电源
主体目镜
物镜
CCD对准系统
液晶显示器
电控系统
紫外LED控制模块
嵌入式控制系统
液晶触摸控制屏
控制柜桌
气动系统
气缸
电磁阀
减压阀
气动开关
气动仪表
其他附件
真空泵
空压机
接口管道
招标公司
东北大学
中标公司
中国科学院光电技术研究所光学元件厂
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