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真空微尘分离器
"真空微尘分离器"标讯
招标
深圳技术大学蝶形腔式MPCVD意向公开
金额
120万元
项目地址
广东省
发布时间
2024/11/25
招标产品
气路系统
微波系统
水负载
反应腔系统
油雾分离器
全自动抽气
气压控制
全自动温度控制
微波反射保护
真空测量
自动稳压
升温
真空密封
真空微尘分离器
阻抗调配器
薄膜规
真空泵
基片台系统
降温
自动控制系统
1~1000TORR
环形器
模式转换天线
冷却系统
旋片式机械泵
微波泄漏
微波等离子体化学气相沉积系统主机
蝶形腔式MPCVD
微波调谐
招标公司
深圳技术大学
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