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硅化物退火
"硅化物退火"标讯
招标
中国科学院微电子研究所多功能高真空快速升降温热处理设备系统采购项目公开招标公告
金额
180万元
项目地址
北京市
发布时间
2023/09/11
招标产品
多功能高真空快速升降温热处理设备
离子注入之后的杂质激活
硅化物退火
规范编制
项目管理
招标公司
中国科学院微电子研究所
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