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硅基材料沉积
"硅基材料沉积"标讯
中标
清华大学电子束热源金属氧化物镀膜机采购项目（清设招第2022597号）单一来源公示
项目地址
北京市
发布时间
2022/11/21
招标产品
VAT控压蝶阀
真空系统控制阀
工艺应用
尾气报警装置
温度控制
尾气处理设备
板卡
气路系统
PEVD150
硅基材料沉积
薄膜工艺规
触摸屏操作
不低于500W射频功率源
真空测量
特气柜
气体监测器
气路盘
管路配件
CCP等离子体模式
软件自主开发
罗茨泵与机械泵组成
控制系统
电子束热源金属氧化物镀膜机
射频系统
7路进气
一体化加工腔室
工控机
界面控制
一体化机型
Showerhead进气
控压系统
反应腔室
数字流量计
招标公司
清华大学
中标公司
北京中科泰龙电子技术有限公司
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