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碳化硅芯片微结构刻蚀
"碳化硅芯片微结构刻蚀"标讯
中标
山东大学干法刻蚀设备单一来源公告
项目地址
山东省
发布时间
2023/12/06
招标产品
腔内污染颗粒监测
衬底形变监控
碳化硅刻蚀
干法刻蚀设备
碳化硅垂直沟道刻蚀
碳化硅半导体
碳化硅芯片微结构刻蚀
流量调节
碳化硅功率芯片
碳化硅衬底刻蚀
招标公司
山东大学
中标公司
苏美达国际技术贸易有限公司
中标
山东大学干法刻蚀设备其他
项目地址
山东省
发布时间
2023/12/06
招标产品
腔内污染颗粒监测
衬底形变监控
碳化硅刻蚀
干法刻蚀设备
氮化镓
碳化硅垂直沟道刻蚀
衬底刻蚀
碳化硅半导体
碳化硅芯片微结构刻蚀
流量调节
碳化硅功率芯片
招标公司
山东大学
中标公司
苏美达国际技术贸易有限公司
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