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维持靶更换状态下的靶室真空
"维持靶更换状态下的靶室真空"标讯
招标
中国科学院上海光学精密机械研究所靶架与靶准直传感器搭载架(重新招标)公开招标公告
金额
395万元
项目地址
上海市
发布时间
2024/05/30
招标产品
靶架与靶准直传感器搭载架
精密调节单元
靶输送单元
真空辅助单元
整体支撑结构
实验靶
安装接口
径向输送功能
位姿精密调节
维持靶更换状态下的靶室真空
精密位姿调节
安装支撑功能
招标公司
中国科学院上海光学精密机械研究所
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