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三反应腔室
"三反应腔室"标讯
中标
吉林大学高温化学气相沉积和金属有机物化学气相沉积系统中标公告
金额
297万元
项目地址
吉林省
发布时间
2022/10/19
招标产品
金属有机物化学气相沉积系统
高温化学气相流积系统
高温化学气相沉积系统
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三反应腔室
触摸方式+键盘鼠标控制
招标公司
吉林大学
中标公司
山东力冠微电子装备有限公司
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