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人工干预和控制
"人工干预和控制"标讯
招标
清华大学感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统购置项目公开招标公告
金额
490万元
项目地址
北京市
发布时间
2022/12/01
招标产品
下电极温度
设备外接用户供电线路
远程诊断
感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统
主机
干泵
气压
气路系统
安全互锁功能
配套附件
交流电源分配器
气动截止阀
射频源功率
气体流量
远程服务
气动传输机构
工艺程序
备品备件包
工艺气体管路
动态温度控制系统
预真空室Loadlock
气路柜
工艺气路
工艺操作软件
真空计
配电箱
反应腔连接
射频发生器
互联网连接设备各个组件
紧急停止开关
载片器
人工干预和控制
真空系统
控制系统与软件
招标公司
清华大学
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