金额
343.3万元
发布时间
2023/12/01
招标产品
等离子体增强化学气相沉积
紫外光刻机
二腔磁控溅射等设备
高真空有机热蒸发镀膜机
学科提升工程
离子束刻蚀系统
实验室设备
电子束曝光系统
电子束蒸发设备
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