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介质薄膜感应耦合等离子蚀刻系统
"介质薄膜感应耦合等离子蚀刻系统"标讯
中标
重庆微电子中心感应离子耦合沉积及蚀刻系统中标公告
金额
718.4万元
项目地址
北京市
发布时间
2022/03/15
招标产品
感应离子耦合沉积及蚀刻系统
感应耦合等离子增强化学气相沉积系统
金属膜层反应离子蚀刻系统
介质薄膜感应耦合等离子蚀刻系统
招标公司
北京理工大学重庆微电子中心
中标公司
北京亚科晨旭科技有限公司
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