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可实现无机蒸发功能
"可实现无机蒸发功能"标讯
中标
厦门理工学院半导体工艺设备政府采购合同公告
金额
299.32万元
项目地址
福建省
发布时间
2023/01/09
招标产品
支持256阶灰度曝光
单层膜
吸盘
旋转加热
N型热电偶
数据输入系统
同轴CCD对准模块
真空旋转涂膜机
采用分子泵+机械泵的抽气方式
复合真空计
多层膜
加热元件
管式炉
PLC工控机
CCD图像监视系统
自动聚焦检测
真空表
空间光调制器
不锈钢快速挤压密封法兰
恒温区
双MFC流量计组合系统控制
多轴精密运动系统
光学头
工艺实验
电子枪
加热炉
数据处理和控制系统
高真空电子束
膜厚控制仪
温控系统
多模式Z向导航校正数据
系统具有电动及自动化工艺模块
等离子清洗机
激光直写光刻机
样品台
智能程序化化控制
手动前开门设计
电容式等离子激发方式
沉积系统
真空系统
烘箱
可实现无机蒸发功能
自动匹配器
气浮隔振系统
半导体工艺设备
招标公司
厦门理工学院
中标公司
优宸（厦门）仪器设备有限公司
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