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升级375纳米激光源
"升级375纳米激光源"标讯
招标
关于允许采购进口设备激光直写曝光系统的论证公示[国科大杭州高等研究院]
金额
160万元
项目地址
浙江省
发布时间
2023/11/07
招标产品
微流控光刻
半导体光刻
高分辨率无掩模直写系统
激光器
升级375纳米激光源
掩模版制备
支持4096阶灰度曝光功能
微纳结构加工系统
I-line光刻胶材
灰度光刻
图形化工艺
无掩模紫外激光直写系统
激光直写光刻
进口设备
650纳米红色激光控制自动对焦系统
高数值孔径物镜
具备光束整形光学元件
自动聚焦
激光直写曝光系统
无掩膜紫外激光直写系统
红外自动光学聚焦
招标公司
国科大杭州高等研究院
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