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原位氧化硅薄膜沉积
"原位氧化硅薄膜沉积"标讯
招标
中国科学院宁波材料技术与工程研究所采购管式PECVD系统项目公开招标公告
金额
250万元
项目地址
浙江省
发布时间
2025/01/17
招标产品
石墨舟
石英管
炉体柜
真空泵
气源柜
射频电源
净化操作台
控制软件
原位氧化硅薄膜沉积
管式PECVD系统
招标公司
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
招标
中国科学院宁波材料技术与工程研究所采购管式PECVD系统项目公开招标公告
金额
250万元
项目地址
浙江省
发布时间
2025/01/17
招标产品
石墨舟
石英管
炉体柜
真空泵
气源柜
射频电源
净化操作台
控制软件
原位氧化硅薄膜沉积
管式PECVD系统
招标公司
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
招标
中国科学院宁波材料技术与工程研究所采购管式PECVD系统项目公开招标公告
金额
250万元
项目地址
浙江省
发布时间
2024/12/23
招标产品
石墨舟
石英管
炉体柜
真空泵
气源柜
射频电源
氮化硅薄膜沉积
净化操作台
控制软件
原位氧化硅薄膜沉积
管式PECVD系统
招标公司
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
招标
中国科学院宁波材料技术与工程研究所采购管式PECVD系统项目公开招标公告
项目地址
浙江省
发布时间
2024/12/23
招标产品
石墨舟
石英管
炉体柜
真空泵
气源柜
射频电源
净化操作台
控制软件
原位氧化硅薄膜沉积
管式PECVD系统
招标公司
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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