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先进集成工艺
"先进集成工艺"标讯
招标
教育部清华大学单一来源采购晶圆键合系统征求意见公示
金额
2010万元
项目地址
北京市
发布时间
2022/06/27
招标产品
加速度计
压阻式压力计
玻璃胶键合
先进集成工艺
微纳集成子平台
晶圆键合系统
晶圆键合工艺
多层结构MEMS器件
品圆键合系统
MEMS陀螺
招标公司
清华大学
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