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光电芯片集成工艺平台设备
"光电芯片集成工艺平台设备"标讯
中标
清华大学天津电子信息研究院光电芯片集成工艺平台设备购置项目中标公告
项目地址
天津市
发布时间
2017/08/15
招标产品
纳米测量显微镜
等离子耦合干法刻蚀机
高密度等离子刻蚀机
半导体大视野高分辨二维观察系统
光电芯片集成工艺平台设备
紫外光刻系统
等离子增强化学气相沉积
工作站
电子束光刻机
等离子体干法刻蚀机
电子束蒸发镀膜设备
离子刻蚀镀膜仪
招标公司
清华大学天津电子信息研究院
中标公司
牛津仪器科技（上海）有限公司
共8家
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