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光束调节系统
"光束调节系统"标讯
中标
中国科学院上海光学精密机械研究所193nm损伤测试平台中标公告
金额
518.6万元
项目地址
上海市
发布时间
2024/11/29
招标产品
光束传输系统
控制系统
样品定位系统
光源系统
193NM损伤测试平台
光束调节系统
招标公司
中国科学院上海光学精密机械研究所
中标公司
上海润理真空技术有限公司
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