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光源光学透镜组合
"光源光学透镜组合"标讯
中标
中南大学高等研究中心微纳加工与器件制造平台紫外光刻机采购项目 中标公示
金额
219.87万元
项目地址
湖南省
发布时间
2020/12/25
招标产品
晶圆对准台
基于Windows控制软件
顶部物镜转塔
主系统
顶部对准系统
防震台
曝光系统
软件系统
晶圆夹具
底部对准系统
光路
光强计
真空泵
掩模版夹具
底部物镜
掩膜光刻机
LED紫外光源
光源光学透镜组合
CCD系统
隔离防震桌面
紫外光刻机
提供系统真空
光强探头
招标公司
中南大学
中标公司
深圳摩世达科技有限公司
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