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八英寸晶圆级氮化硅低压化学气相沉积设备
"八英寸晶圆级氮化硅低压化学气相沉积设备"标讯
中标
中国科学院2024年仪器设备部门批量集中采购项目第6包（原子层沉积系统类）中标公告
金额
98.28万元
项目地址
北京市
发布时间
2024/08/16
招标产品
原子层沉积系统
仪器设备
八英寸晶圆级氮化硅低压化学气相沉积设备
招标公司
中国科学院微电子研究所
中标公司
北京亚科晨旭科技有限公司
招标
八英寸晶圆级氮化硅低压化学气相沉积设备中国科学院微电子研究所2024年6至10月政府采购意向
项目地址
北京市
发布时间
2024/03/08
招标产品
电子工业生产设备
八英寸晶圆级氮化硅低压化学气相沉积设备
招标公司
中国科学院微电子研究所
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