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分子泵工作状态显示
"分子泵工作状态显示"标讯
中标
PVD薄膜沉积系统（FJNU-JJ-210002）成交结果公告
金额
36.83万元
项目地址
福建省
发布时间
2021/01/08
招标产品
镀膜工艺参数的摸索
急停保护
液晶屏
断电保护
数据下载
腔体水冷设计
分子泵工作状态显示
整体碳钢焊接机架
手动急停按键
超高真空气动插板阀
电气控制系统
程序设定非正常停机
软件服务系统
复合分子
系统保护
镀膜腔室
磁流体密封
超静音无油空压机
工业水冷机
气体节流阀门
设备过流过压保护
引线端子处设有屏蔽外壳
阀门逻辑互锁保护
高压保护
基片台
水冷单探头
缺水报警保护
旋片泵
物联网
水路系统水排
售后服务线上报修
真空泵阀
电磁屏蔽罩
真空抽气系统
安全保护
分子泵保护
配门
主抽阀
高真空系统
速率/膜厚监测仪
底下配脚轮
磁控溅射靶枪
样品台
定位
PVD薄膜沉积系统
LED照明灯
真空状态显示
信息采集
电气控制柜
溅镀靶枪系统
带TC输入
招标公司
福建师范大学
中标公司
福州百丽家生物科技有限公司
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