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加热源3路
"加热源3路"标讯
招标
原子层沉积系统采购项目(三次)公开招标招标公告
金额
99万元
项目地址
福建省
发布时间
2023/03/21
招标产品
臭氧源系统
隔膜阀
耐高温执行器
原子层沉积系统
前源输送管路
独立进气口
前驱体输送管路
控制臭氧
反应腔系统
加热保温系统
加热套
臭氧破坏器
臭氧发生器
温度传感器
加热器
惰性气体自清洗系统
等离子体系统
等离子体源
质量流量控制器
金属前驱体源输送管路
载气辅助源输送系统
加热源3路
加热源容器
加热源输送管路
4路液源
薄膜
气路
射频电源
载气管路
前驱体源输送系统
自动匹配器
招标公司
福州大学
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