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基片台升降
"基片台升降"标讯
招标
EVD-400镀膜机-东南大学-竞价公告(CB102862024000343)
项目地址
江苏省
发布时间
2024/03/25
招标产品
高真空电阻蒸发镀膜机
真空腔室
基片台挡板
金属铠装加热器
基片台夹具
基片台旋转
主轴磁流体密封
基片台加热
金属反射板
基片进行平行辐射加热
PID智能温控仪控制
基片台升降
有机蒸发源
金属蒸发电源
金属蒸发源
电源可切换供2-4组电极分时蒸镀
防污隔板
蒸发源配件
复合分子泵
机械泵
气动高真空挡板阀
放气阀
数显复合真空计
波纹管
水排
气路系统
电接点压力表
气体压力不足报警气路分配单元
电气控制系统
抽真空系统
自动一键式抽真空
蒸发镀膜电源
阀门开关
开关控制
真空计参数显示及控制
基片台转速控制
基片加热温度控制
安全保护报警系统
相应保护措施
逻辑程序互锁保护系统
密封圈
辅料
机架
控制柜
真空腔体
底下配脚轮
招标公司
东南大学
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