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基片自转速度连续可调
"基片自转速度连续可调"标讯
中标
[BA202300580]高真空磁控溅射系统备案公示公告
金额
21.5万元
项目地址
吉林省
发布时间
2023/06/30
招标产品
电动插板阀
加热系统
分析仪器
Dg100法兰接口
接分子泵
阀门
磁控溅射靶
热偶规管
高真空磁控溅射系统
气动控制挡板组件
安装机台架
经过混气室
报警系统
工作气路
盲法兰
陶瓷封接引线法兰
数显真空计
外照明玻璃窗口
解除真空充入氮气
法兰接口部件
真空测量
Dg16进气阀
旋转加热基片台
磁控靶
电极引线
气动控制样品挡板
接头
金属薄膜
水冷却
质量流量控制器
变频控制电源
四个脚轮
提供靶材
真空获得系统
Dg150法兰接口
旁抽角阀
控制系统
抽气机组
高真空挡板阀
旁抽管路
旁抽阀
基片自转速度连续可调
直流电源
玻璃窗口
管道
溅射室
电离规管
放气阀
溅射真空室
旋片真空泵
永磁靶
截止阀
金属软管
500w全自动调谐射频电源
介质膜
招标公司
吉林大学化学学院
中标公司
沈阳天德创新科技有限公司
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