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埋层腔体刻蚀
"埋层腔体刻蚀"标讯
招标
埋层腔绝缘体上硅工艺开发流片服务采购公告
金额
42万元
项目地址
上海市
发布时间
2023/09/07
招标产品
上电极钼刻蚀
氮化铝刻蚀
工艺开发技术
正面深槽刻蚀
仪器设备
硅工艺开发
下电极过孔刻蚀
正面二氧化硅刻蚀
家具
金属铝铜刻蚀
压电叠层沉积下电极钼
埋层腔体刻蚀
埋层腔体型绝缘体上硅工艺流程
掺钪氮化铝
金属铝铜沉积金属铝铜
表面二氧化硅沉积二氧化硅
表面二氧化硅刻蚀
晶圆
流片服务
上电极过孔刻蚀
招标公司
上海大学
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