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同质外延薄膜
"同质外延薄膜"标讯
中标
南京邮电大学MOCVD半导体薄膜生长设备采购项目中标公告
金额
279万元
项目地址
江苏省
发布时间
2022/08/01
招标产品
箱体排气管路
Gap升级改造
Aixact软件控制界面改造
维护模式开关
MOCVD半导体薄膜生长设备
升温系统改造
生长系统
专用气垫车
MOCVD系统
设备现场安装
安全控制系统
产品合格证
氩气管路改造
相应气动气电子驱动模块
氧气管路改造
MOCVD加热电源
热交换机功能测试
UPS和备份系统
同质外延薄膜
国产设备
调试
MOCVD箱体
系统配置
氧化镓外延片
内部量程确认
电路控制系统
氧化镓MOCVD
MOCVD设备
腔体压力系统测试
零点调节
加热丝
气动气模块
高质量半导体外延薄膜大尺寸可控生长
设备操作手册
上盖清洗
升级改机
软件系统安全型防护
氧化镓生长展示
装箱清单
招标公司
南京邮电大学
中标公司
江苏省科学器材有限公司
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