金额
38.48万元
项目地址
陕西省
发布时间
2019/03/27
招标产品
源瓶
配置截止阀
可拆卸式保温套
管路载气为氮气
原子层沉积系统
平面基片
沉积模式
排气管路
台阶覆盖性
反应腔系统
配备分段独立控制加热系统
真空机械泵系统
配备进口数字式模拟量
纳米叠层
前驱体气体吸收器
金属单质膜
前驱体管路
前驱体源
独立载气吹扫系统
掺杂沉积
FTO
腔体含腔壁补偿加热器
金属氧化物薄膜
真空泵
PLC控制
沉积薄膜
不锈钢级管路
金属密封质量流量计
高纯度铝源
具有断电保护功能
进气出气管路
容器
高纵深比样品
洁净室
含气体稳定系统
配套加热套
梯度薄膜
腔体316L不锈钢整体成形
掺杂质
等离子体系统升级
固态源
配备进口数字压力计
配备独立的阀加热器
真空系统
独立流量计控制
沉积单一薄膜
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