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微纳结构制样
"微纳结构制样"标讯
招标
广东省科学院半导体研究所电子束曝光系统市场调研公告
项目地址
广东省
发布时间
2023/10/25
招标产品
电子束曝光系统
微波毫米波射频器件
高端精密掩膜
超表面镜头
神经探针
微纳结构制样
分析检测
微纳结构材料与器件
精细制样
前沿新材料
半导体
电子束流
微纳透镜阵列
精细斜线
精细光栅
精细螺旋线
六角阵列
圆点阵
纳米图形的生成及制样
曝光系统主机
无拼接长尺寸图形加工功能
无拼接周期图形加工功能
旋转倾斜模块
自动高度传感器
20bit升级
自动化多样品加工软件包
基于算法的模式生成软件功能
适用于多样品的样品架
3寸晶圆样品架
4寸晶圆样品架
6寸晶圆样品架
8寸晶圆样品架
曝光软件离线授权
不间断稳压电源
政府采购项目采购需求调查
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