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射频感应耦合等离子体源刻蚀实验台
"射频感应耦合等离子体源刻蚀实验台"标讯
招标
大连理工大学射频感应耦合等离子体刻蚀实验台等设备采购项目竞争性磋商采购公告
金额
190万元
项目地址
辽宁省
发布时间
2022/11/29
招标产品
射频感应耦合等离子体源刻蚀实验台
真空获得设备
射频感应耦合等离子体刻蚀实验台
射频电源及自动匹配器
等离子体真空腔体
招标公司
大连理工大学
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