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干法电感耦合等离子深槽刻蚀机
"干法电感耦合等离子深槽刻蚀机"标讯
中标
微纳平台TSV-ALE集成刻蚀系统(SEU-ZB-240757)成交结果公告
金额
2.63万元
项目地址
江苏省
发布时间
2024/11/21
招标产品
刻蚀系统
干法电感耦合等离子深槽刻蚀机
招标公司
东南大学
中标公司
无锡邑文微电子科技股份有限公司
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