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掩模近场模型
"掩模近场模型"标讯
中标
广东省大湾区集成电路与系统应用研究院面向FDSOI的计算光刻关键技术开发采购项目
项目地址
广东省
发布时间
2021/05/18
招标产品
计算光刻关键技术开发
生产经验
硅片
筛选
OPC优化
计算光刻模型
软件版权
基于机器学习
成像误差补偿精度
电磁场仿真
厚掩模
快速模型
薄掩模
基于梯度算法
神经网络
快速OPC
OPC技术
光刻建模
光刻成像系统建模
掩模优化
光刻仿真
普适数据处理方法
光源优化
掩模近场模型
招标公司
广东省大湾区集成电路与系统应用研究院
中标公司
中国科学院微电子研究所
中标
广东省大湾区集成电路与系统应用研究院面向FDSOI的计算光刻关键技术开发采购项目单一来源采购公示
项目地址
广东省
发布时间
2021/05/18
招标产品
基于机器学习
OPC优化
计算光刻关键技术开发
电磁场仿真
光刻仿真
OPC技术
光刻成像系统建模
生产经验
光源优化
光刻建模
掩模近场模型
厚掩模
掩模优化
计算光刻模型
成像误差补偿精度
薄掩模
快速模型
筛选
神经网络
基于梯度算法
软件版权
普适数据处理方法
硅片
快速OPC
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广东省大湾区集成电路与系统应用研究院
中标公司
中国科学院微电子研究所
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