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慢速进气
"慢速进气"标讯
中标
等离子灰化仪中标公示
金额
9.5万元
项目地址
山西省
发布时间
2020/05/22
招标产品
压力互锁功能
真空更泵
慢速进气
反射波自动调节匹配
真空泵
数字式流量计
抽气控制模块
压力控制
控制系统
工艺气路
发生器
O2ARN2H2等非腐蚀气体
工艺舱
电流过载保护功能
多级环式电极
反应腔
等离子灰化仪
压力传感器
腔体抽真空
工艺气体
招标公司
太原理工大学
中标公司
山西巢原科贸有限公司
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