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极紫外电子态表征
"极紫外电子态表征"标讯
招标
中国科学技术大学合肥先进光源国家重大科技基础设施项目-极紫外电子态表征及光刻工艺光束线单色器、光阑及镜箱系统招标公告
获取标书剩余时间
4
天
金额
735万元
项目地址
安徽省
发布时间
2024/12/30
招标产品
M1偏转镜箱
现场安装调试
现场安装准直
技术资料
单色器
配套服务
测试报告
镜箱参数需求提供工艺设计
电动四刀光阑
步进电机运动控制器
部件测试
聚焦镜箱
极紫外电子态表征
镜箱主体
合肥先进光源国家重大科技基础设施
镜箱系统
招标公司
中国科学技术大学
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